一：看法 

特种气体运输系统软件就是指：将高纯气体从气动阀门端、凭据加工工艺武器装备的加工工艺要求、根据对总流量和工作压力等主要参数的操纵，根据管路、无二次污染、牢固的运输到加工工艺武器装备的用气点。

其基本上步骤是：气动阀门→控制箱→管路传送→VMB→用气点

二：归类 

高纯气体凭据汽体脾气差别一样平常分成：稀有气体、易燃易爆物品汽体、有害气体和腐蚀气体；凭据供货包裝的差别分成：高纯气体和大宗商品高纯气体。

三：气路系统软件的挑选 

1. 朴素气路系统软件 
朴素气路系统软件关键对于4英寸及下列集成电路芯片厂、半导体材料材料的科研院所及其一些每台的加工工艺武器装备等。他们的制造朴素，一般不用持续性气路，对汽体供货系统软件的项目投资费用预算低。

因为气体压力小，不常常应用，高纯气体气动阀门多接受简单气瓶（<50L）。运输系统软件多接受全自动气瓶柜或气罐架加朴素的操作面板；设定汽车继电器操纵，全自动转换，手动式吹扫，手动式放空自己，危害气体配置重要紧急切断阀。稀有气体瓶架则接受全手动系统软件，有一些乃至用单瓶系统软件。全部汽体同用一个汽体房，乃至沒有汽体房，特种气体气瓶和运输系统软件有时候放到送风夹道，或立即放到加工工艺生产制造武器装备边上或隔邻。若是沒有新奇风险汽体一样平常同用一个排风系统软件。朴素气路系统软件一般存有安全安全隐患。

2. 通例气路系统软件 
通例气路系统软件关键运用于4-6英寸 规模性集成电路芯片厂，50MW下列的太阳能电池板生产流水线，发光二极管的集成ic工艺流程线及其其他用宇量中等水平经营规模的电子产业。对汽体纯净度操纵的规定不严苛，系统软件配置在满足安全的标准下只要朴素，节省项目投资。

高纯气体接受简单气瓶（<50L）气路。特种气体运输系统软件接受气瓶柜。设定自动式PLC控制器，五颜六色触摸显示屏；汽体控制面板接受气动调节阀和液位传感器，可完成全自动转换，全自动N2吹扫，全自动真空泵輔助放空自己；多种安全防护措施，泄漏探测，远程控制重要断开；专用型N2吹扫发源这些。VMB接受环路气动阀门，N2吹扫，真空泵輔助排尽。稀有气体多接受全自动气罐架，汽车继电器操纵，全自动转换，手动式吹扫，手动式放空自己；VMB负责人气动阀门，N2吹扫；环路气动阀门，N2吹扫，真空泵輔助排尽。汽体房和排风系统软件凭据汽体脾气举办归类。               

3.大宗商品特种气体气路系统软件

规模性气路系统软件关键对于规模性批量生产的8-12英寸（1英寸=25.4mm）集成电路工艺集成电路芯片厂（汽体类型囊括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），100MW之上的太阳能电池板生产流水线（汽体类型囊括NH3），发光二极管的磊晶工艺流程线（汽体类型囊括NH3）、5代之上液晶显示屏加工厂（汽体类型囊括SIH4、CL2、NH3、NF3）等、光纤线（汽体类型囊括SiCl4）、硅质的料外延性生产流水线（汽体类型囊括HCL）等领域。他们的投资总额杰出，接受*优秀的加工工艺制造武器装备，用气需要量大，对牢固和不中断供货、纯净度操纵和安全生产制造明确提出*严苛的规定。

这种加工厂的高纯气体的供货，除开简单气瓶（50L及下列）包裝的高纯气体外，还有多类型的高纯气体都广泛接受大包装材料，从而他们被称作大宗商品特种气体，囊括Y-气瓶（450L），T-气瓶（980L），集装箱格（940L），ISO罐（22,500L），鱼雷艇车（13,400L）等。 

大宗商品特种气体供货系统软件（BSGS）接受自动式PLC控制器，五颜六色触摸显示屏；汽体控制面板接受气动调节阀和液位传感器，可完成全自动转换，全自动N2吹扫，全自动真空泵輔助放空自己；多种安全防护措施，泄漏探测，远程控制重要断开；专用型N2吹扫发源这些。高纯气体接受自整体实力源，常用点接受VMB或VMP分开供货，VMB或VMP接受环路气动阀门，N2吹扫，真空泵輔助排尽等。因为BSGS气动阀门总产量大，多接受自力的汽体房，自力的排风系统软件

四：汽体房的挑选和设计方案 

除开朴素的气路系统软件之外，特种气体房一样平常都自力于上海cba房而独立基本建设，其设计方案时要考虑建造物的防火安全、泄爆、防火安全防爆型间隔、危险物品的总产量操纵等。通例气路系统软件一样平常也接受多种多样气瓶柜共建在一个汽体室；而针对大宗商品特种气体，会凭据汽体特点和相溶性将汽体房分为易燃气体房、腐蚀气体房、稀有气体房、氯硅烷汽体房、毒副作用汽体房等。汽体房务必有优异的通风，汽体房的挑选和设计方案一样平常由规划院进行。

五：管路系统软件的设计方案 

1.材料的挑选

特支气管路系统软件广泛接受316L不锈钢板化学抛光（EP）管路，闸阀一样平常接受高纯度减压阀、隔膜阀、高周全过滤装置、（＜0.003μm）、VCR探讨等。触碰汽体的管道构件外边粗拙度可操纵在5uin。针对一些高黏附性的汽体如CL2等，接受经过独特处理的耐腐蚀强的EP管 。

2.负责人路系统软件的设计方案

在明确好汽体房和用气点之后,负责人路系统软件一样平常遵循管路路线*短,转弯*少,布署紧拼集理,给人朴素文雅的体会。运输系统软件的数量和管经的大小一样平常凭据机器设备用气点的多个和总流量大小明确，基本上都接受小管经运输（1/4-3/4）并且多设计方案了备用系统。因为汽体自身的危险因素，很多地区接受把管路铺装在桥架里，针对过墙或越过夹道的地区，周边有风险源和常常有危险作业的地区，室外的地区管路一样平常布署在全封禁的电缆桥架里。

针对低饱和蒸汽压汽体（WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等），必须考虑气瓶加温，汽体控制面板加温，管路电伴热等。为了更好地精确操纵总流量，在气动阀门端一样平常会考虑设定高精密的温度变送器、电子称、温度控制器等。在机器设备用气点也都设定了流量计，工作压力調理阀。针对有毒、高体现性和起火汽体，应应用双防水套管运输。另外管路的设计方案要接受零过流保护设计方案，即全部管路系统软件从气柜到VMB、从VMB到用气点，要点到点，中间不允许有在汽体换置时有残余气体的盲区。因而，全部管道系统软件中由VMB进行汽体的分派，中间沒有三通。*后管路也要有优异的接地装置。

3輔助系统软件的设计方案

汽体柜或操作面板在安裝和运送的过程中因为运送和吃惊，闸阀、探讨、过滤装置等的更换、或别的原因缘由、必须对其再次举办髙压气密性检测和氦检，汽体的换置也必须采用髙压N2或氦气，因此特气柜需设计方案连接髙压稀有气体氦气或N2。一样平常挑选在特种气体房设定一台或几台稀有气体柜。其紧邻方式为：

特气柜中配有诸多汽体驱动器阀，负责人路在供气前务必举办管路的吹扫和气体的换置，因此还需輔助有高纯氮气和洁净空气压缩系统软件。N2系统软件接受SUS316L-EP管，CDA可接受SUS316L-BA管，其管经凭据气柜的多个来筹算决定。

汽体房和气柜还须有全自动自动喷淋系统，但有的汽体如三氟化氯,氯硅烷遇水后体现，这时候就还必须考虑接受二氧化碳自动灭火系统。

通风系统和放空自己系统软件也是特种气体系统软件的关键构成单位。其通风系统也凭据危险物品脾气分为简单通风系统（GEX）、酸碱性通风系统（SEX）、有机溶剂通风系统（VEX）、二氧化氮通风系统（AEX）。简单通风系统接受镀锌钢板通风风管，酸碱性排风系统一样平常接受玻璃钢风管，有机溶剂和二氧化氮排风系统一样平常接受共板法兰风管。气柜的排风系统也是凭据其脾气连接上边差其他通风系统。汽体的放空自己就是指特支气管道和气柜中的特种气体经N2稀释液后由放空管道排出到空气或通风系统中，有的有毒性或高不良影响的汽体提议排出到废气处理器中乾处理后排出至回应的通风系统中。放空自己系统软件一样平常接受SUS304不锈钢钢管，一直拓宽到房顶，驾驭平屋面2米上下，并设雨罩。   

六:GMS和GDS系统软件 

汽体视频监控系统（GMS)根据筹算机互联网，完成对汽体运输系统软件的实时监控系统，以保证系统软件的牢固性。

汽体探测系统软件（GDS）是厂区性命安全系统软件（LSS）的关键构成单位。针对侦测器的规定，除开高精度，体现快速外，还应具有自查作用。针对这两个系统软件在这儿只有做一个看法性的推荐。

*后、丰富体会汽体特点、进而有效设定系统，有效挑选管径和质料，是大家设计方案的关键，那样可明显减少全部系统的成本费。

七：特殊气体管道的工程施工 

特殊气体管道的工程施工接受自动式轨道焊接，另外制定和实行严苛的极高纯工程施工和QA/QC确保程序流程，对工程施工的品质和程序流程举办严苛的监管和整治。*后全部系统也要举办氦测漏、水份、氧分和颗粒度检测、及其别的规定做的液相残渣的检测。

其当场基本上的工程施工程序流程为：工程施工图纸会审记录→施工计划撰写→预制构件间的架设→工程施工机器的提前准备→工程施工员工的学习培训→预制构件工程图纸的撰写→管路的预制构件→管路的当场安裝→系统检验→系统工程验收

1.预制构件间的挑选

特殊气体管道的工程施工对自然环境的规定对比高，管路工程施工接受大批预制构件随后当场 安裝的方法。凭据限度，预制构件工作必须在洁净度抵达千级的净化处理间举办，工作员工也凭据千级净化处理间的整治衣着。因而针对大宗商品特种气体新项目，一样平常都建了一个限度的预制构件间。

但我们在实际的施工现场,大宗商品特种气体新项目非常少,一样平常全是朴素系统和通例系统,为了更好地节约成本和资产,在规定并不是很高的情况下、一样平常接受在施工工地找一块相对性洁净的屋子接受一定的防污对策就地工程施工,除工作员工和核查员工外,应阻拦不相干员工收入支出。若是小区业主规定对比严苛，也接受彩钢瓦架设一个朴素的预制构件，屋子里铺平地板胶，在屋选用洁净塑料薄膜封出一块装上两部层流罩，做一个朴素的净化处理室内空间，举办管路的预制构件事儿。

2.关键的工程施工机器

特殊气体管道的关键工程施工机具备:自动式路轨悍机(D100、MIOO等)管道切割机（GF锯）、管子割刀、直口机、弯管器、倒角器、支管毛边维修刮板、有的必须设定电源稳压器、避免施工工地电流量晃动对电焊焊接品质导致危害、台钳、配电柜、拖线盘、台钻、手电钻、围攻钻、自动切割机、直流焊机、手工制作氩弧焊机、别的辅助软件。

3.工程施工整治和当场工程施工的好多个重视点

新项目整治员工和工程施工员工都需要举办工程施工安全和施工质量的学习培训,体会特殊管路的施事儿业规定和标准,体会高纯气体的基础知识,进而加重对特殊管路施工质量关键性的了解。

特支气管道一样平常接受小管路运输，为了更好地控制成本，管路接受立即用弯管器煨弯的方法，弯管器一样平常接受5-10倍的，但不小于5倍。因而对管路工程施工员工要举办诸多视角下的弯头学习培训，对电焊工也务必举办电焊焊接程序流程的学习培训，了解诸多电焊焊接主要参数的调节，*后管工和电焊工都务必经过考試，由专业的品质整治员工确定合格后，发送给工作容许证后才可工程施工，这也是QA/QC确保程序流程的构成单位。也是工程施工程序流程中员工学习培训的关键。

当场的品质整治员工要搞好质料的质量检测记录和每天的工程施工质量检测记录，囊括管工弯头的品质，规格是不是精确，管路是不是有刮伤，弯管是否压得太扁；拆卸包裝的管路，预制构件好的管路，支管是否封好；（管路密封应套上管帽，再接受EP管完好无损的内包装袋子割掉15-20公分长套在支管折返后用洁净胶布缠好；若是沒有管帽，则接受套一层内包装袋子用胶布封好，随后外边再套一层，也用胶布封好。）电焊工的焊接是不是相符合品质规定，每一个焊接都务必认真仔细，并做好电焊焊接工作者和电焊焊接数量记录。

电焊工每天在电焊焊接前务必先作电焊焊接试件，经查验合格后才可举办电焊焊接工程施工，每天的工程施工竣事后还务必做一个末试件，以确定今日的电焊焊接工作是不是存有电焊焊接安全隐患。每一次开关电源获得的時刻，都务必再次作试件。电焊焊接试件要另附电焊焊接主要参数。每天的电焊焊接试件要妥当保存。（焊接品质的查验关键有焊接的宽笮度、焊接的內外均值度、焊接的凸凹度、是不是空气氧化、别的不允许的缺点）

搭建到管架子上的管路，在电焊焊接工作最依次就需要接受不中断打气的方法，即从工程施工最开始到工程施工竣事管路内都需要处在冲气爱惜的情况，但在没有举办电焊焊接工作时可适度调小管中标准气压。但对规定并不是很高的工程施工，为了更好地控制成本，每天的电焊焊接竣事后，把两边用管帽和洁净胶布堵死。在这儿要新奇明确提出的是对运输强腐蚀气体的耐黏附性强的VM管举办连接焊接时，其打气時间务必要抵达4-五分钟，并且务必不中断打气。

4：系统检验

特支气管道工程施工竣事后都必须举办压力检测，氦测漏，颗粒度和水份、氧分检测。压力检测一样平常接受对比周全的圆盘式工作压力检查仪或电子器件检查仪，无需气压表。那样进一步提高了检验的周全度。水、氧检测接受水氧分析仪；颗粒度检测如今基本上接受激光器颗粒物检测仪，精密度抵达0.1微米；而对规定高些的接受核凝聚力技艺（CNC）它可抵达0.01μm。其他液相残渣的检测凭据详尽规定明确。